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高純電子氣體

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高純氫氣

氫是主要的工業(yè)原料，也是最重要的工業(yè)氣體和特種氣體，在石油化工、電子工業(yè)、冶金工業(yè)、食品加工、浮法玻璃、精細(xì)有機(jī)合成、航空航天等方面有著廣泛的應(yīng)用。同時(shí)，氫也是一種理想的二次能源（二次能源是指必須由一種初級(jí)能源如太陽(yáng)能、煤炭等來(lái)制取的能源）

高純氮?dú)?

氮?dú)庠诔r下是一種無(wú)色無(wú)味無(wú)臭、無(wú)毒的氣體。氮?dú)庹伎諝夂康?8%，在標(biāo)準(zhǔn)情況下的氣體密度是1.25g/L，氮?dú)庠谒腥芙舛群苄　５獨(dú)庠跇O低溫-196℃下會(huì)液化成無(wú)色液體，進(jìn)一步降低溫到-210℃時(shí)，更會(huì)形成白色晶狀固體。

超純氨氣

超純氨是微電子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反應(yīng)為：750—850℃：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2，850—900℃：3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。雖然NH3在半導(dǎo)體制造用量不大，但在光電子領(lǐng)域、超純氨是十分重要的原材料

三氟化氮

三氟化氮是一種強(qiáng)氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子，這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對(duì)氧化硅和硅），它在蝕刻時(shí)，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。

【高純氦氣】

氦氣，是一種稀有氣體，英文名為Helium，元素符號(hào)為He，原子序數(shù)2。[1]為無(wú)色無(wú)味的惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)不活潑，一般狀態(tài)下很難和其它物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。

【高純氬氣】

氬氣是一種無(wú)色、無(wú)味的單原子氣體，相對(duì)原子質(zhì)量為39.948。一般由空氣液化后，用分餾法制取氬氣。氬氣的密度是空氣的1.4倍，是氦氣的10倍。氬氣是一種惰性氣體，在常溫下與其他物質(zhì)均不起化學(xué)反應(yīng)，在高溫下也不溶于液態(tài)金屬中，在焊接有色金屬時(shí)更能顯示其優(yōu)越性。可用于燈泡充氣和對(duì)不銹鋼、鎂、鋁等的電弧焊接，即“氬弧焊”。

【高純二氧化碳】

二氧化碳（carbon dioxide），一種碳氧化合物，化學(xué)式為CO2，化學(xué)式量為44.0095[1]，常溫常壓下是一種無(wú)色無(wú)味[2]或無(wú)色無(wú)嗅而其水溶液略有酸味[3]的氣體，也是一種常見(jiàn)的溫室氣體[4]，還是空氣的組分之一（占大氣總體積的0.03%-0.04%[5]）。在物理性質(zhì)方面，二氧化碳的熔點(diǎn)為-56.6℃（527kPa），沸點(diǎn)為-78.5℃，密度比空氣密度大（標(biāo)準(zhǔn)條件下），溶于水。在化學(xué)性質(zhì)方面，二氧化碳的化學(xué)性質(zhì)不活潑，熱穩(wěn)定性很高（2000℃時(shí)僅有1.8%分解），不能燃燒，通常也不支持燃燒，屬于酸性氧化物，具有酸性氧化物的通性，因與水反應(yīng)生成的是碳酸，所以是碳酸的酸酐。

【高純氧氣】

氧氣（oxygen）是氧元素形成的一種單質(zhì)，化學(xué)式O2，其化學(xué)性質(zhì)比較活潑，與大部分的元素都能與氧氣反應(yīng)。常溫下不是很活潑，與許多物質(zhì)都不易作用。但在高溫下則很活潑，能與多種元素直接化合，這與氧原子的電負(fù)性?xún)H次于氟有關(guān)。

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